マイクロフォーカス 3DCT X線装置

概要

SF160FCTは、PCB基板実装、エレクロニクスデバイス、半導体デバイスのマイクロフォーカス X線装置です。

非破壊でミクロな欠陥、不具合を検出します。
60kV サブミロンの開放型X線管を使用しています。
拡大率 X4800倍で、6軸操作により欠陥、不具合を容易に見極めることが可能となります。
また 3DCTスキャンによりその欠陥、不具合をわかりやすくビジュアル化することができます。

マイクロフォーカスX線装置:SF160FCT

特徴

  • 1ミクロン以下の焦点サイズ
  • 160KV 開放型X線管
  • フラットパネルX線検出器
  • テーブルサイズ  510mmx460mm
  • 7軸操作(X, Y, Z, R, T, Y-aft, CR-R)
  • ジョイスティック、マウスによる簡単操作(ユーザーフレンドリー)
  • リアルタイムイメージ
  • オートフォーカス
  • GPUシステムにより3D画像処理
  • 3次元CTシステム 直交型 および 斜めCT 搭載

使用用途例

半導体LED

ワイヤー 銅ワイヤーボンディング ワイヤーショート、ワイヤー剥離、スイープ
ダイボンド はんだボイド エポキシボイド
バンプ センターズレ、ボイド、クラック
3Dパッケージ TSV内部 MCP フィリップチップ内部の欠陥、内部微小遺物



BGA/CSP

BGA/CSP はんだブリッジ オープン、クラック、ヘッドインピラー、ブリッジ、ボイド POP用インラインボイド検査


電子部品

コネクター 内部配線状態
カメラモジュール 部品接合状態の確認
パターンオープン、ショート 内部異物

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