概要
SF160FCTは、PCB基板実装、エレクロニクスデバイス、半導体デバイスのマイクロフォーカスX線装置です。
非破壊でミクロな欠陥、不具合を検出します。
60kV サブミロンの開放型X線管を使用しています。

特徴
- 1ミクロン以下の焦点サイズ
- 160KV 開放型X線管
- フラットパネルX線検出器
- テーブルサイズ 510mmx460mm
- 7軸操作(X, Y, Z, R, T, Y-aft, CR-R)
- ジョイスティック、マウスによる簡単操作(ユーザーフレンドリー)
- リアルタイムイメージ
- オートフォーカス
- GPUシステムにより3D画像処理
- 3次元CTシステム 直交型 および 斜めCT 搭載
使用用途例
半導体LED
ワイヤー | 銅ワイヤーボンディング ワイヤーショート、ワイヤー剥離、スイープ |
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ダイボンド | はんだボイド エポキシボイド |
バンプ | センターズレ、ボイド、クラック |
3Dパッケージ | TSV内部 MCP フィリップチップ内部の欠陥、内部微小遺物 |
BGA/CSP
BGA/CSP | はんだブリッジ オープン、クラック、ヘッドインピラー、ブリッジ、ボイド | POP用インラインボイド検査 |
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電子部品
コネクター | 内部配線状態 |
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カメラモジュール | 部品接合状態の確認 |
パターンオープン、ショート | 内部異物 |